薄膜体声波谐振器是5G通信中的重要部件,在5G通信基站和终端中发挥着关键作用。随着5G通信、物联网、卫星通信等领域的发展,消费电子对高频段、低损耗、小型化的滤波器需求日益增长。目前,FBAR的关键专利受欧美日等国家的公司限制,技术手段也基本被国外大公司垄断。FBAR在国内的研发与产业化具有重大战略意义
此项技术创造性提出了一种完全不同的FBAR结构和相应的制作技术,提升了FBAR的性能,同时又开发了一种全新的FBAR制作方法,该制作方法灵活,高效,普适性强。评审团专家一致认为该技术在基于双面图形化技术的薄膜体声波滤波器技术方面达到国内领先水平,应用前景广阔,效果显著。
我中心将以本次科技成果评价工作为基础,通过产业链赋能,为该企业做好成果转化最后一公里的科技赋能工作。